靜電傳感器通常由包括檢測(cè)電極的傳感器部分和將檢測(cè)到的電荷轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)的放大器部分組成。

當(dāng)帶電的待測(cè)物體接近傳感器時(shí)，傳感器接收到來(lái)自物體的電場(chǎng)，靜電感應(yīng)產(chǎn)生與電場(chǎng)強(qiáng)度成正比的感應(yīng)電荷。檢測(cè)電極前面是一個(gè)稱為斬波器的振動(dòng)電極，它會(huì)周期性地改變靜電場(chǎng)強(qiáng)度。

此時(shí)，感應(yīng)電荷也發(fā)生周期性變化，導(dǎo)致檢測(cè)電極與地之間流過(guò)交流電。該電流的阻抗在放大器部分被轉(zhuǎn)換并作為交流電壓信號(hào)輸出，以確定待測(cè)物體的帶電電位。

使用靜電傳感器時(shí)必須注意，即使被測(cè)物體的靜電量相同，如果電容不同，所需的充電電壓也會(huì)發(fā)生變化。例如，如果待測(cè)物體接觸金屬，則電容會(huì)比單獨(dú)時(shí)更大，因此即使電荷量恒定，斷電電位的測(cè)量值也會(huì)較低。